日本旭硝子公司成功地开发出种一种直接氟化的技术，与现存的技术相比较，该工艺可极大地简化生产工艺。通过一种独立开发的反应控制工艺，可以得到氟化物，无须采用多段反应工艺。更何况，以前不能生产的氟化合物现在可以生产了。工艺将吹送的氟气体限定在目标材料上，在此直接氟化，生产出氟化产品。由于氟气体活性极高，难以操作，因此，使用其他化合物如果不进行多步反应，则不能获得目标材料。