等离子清洗机是一种利用等离子体进行表面处理的设备。其核心原理是在真空或大气压环境下，通过能量激励将工艺气体电离形成等离子体。这种等离子体由离子、电子、自由基和光子等活性粒子组成，通过这些活性粒子与材料表面发生物理轰击和化学反应，达到清洗、活化、刻蚀等表面处理目的。
SAT 210Pro等离子清洗机内置两路质量流量计（MFC）适合需要准确控制进气流量的实验。等离子清洗机作为先进的表面处理设备，以其独特的处理机理和优异的工艺效果，在现代制造业中发挥着越来越重要的作用。
主要特点：
1.实时检测和显示真空度,使得机器在智能控制下有了可靠的依据
2.真空值可自由设定,(范围:10—60帕)为外加气体提供了可靠的辉光启动环境,为辉光纯度提供了有利的保障,保证了实验效果的准确性和可靠性
3.真空腔体采用铰链侧开门结构，带有观察窗，材料为6061材质
4.真空腔体、管路、阀体全部为不锈钢材料
5.电容式（CCP）激发,实验效果稳定,均匀可靠,电极板置于样品仓内顶部悬挂
6.触摸屏+内置计算机显示控制,手动自动两种模式任意切换
7.程序化设计，预先编辑好程序，仪器自动完成实验
8.利用气体电离后产生的等离子体的反应活性与材料表面发生的物理或者化学反应，使材料表面成分、组成和结构发生变化，并能得到某些特定的基团
9.无需任何耗材，使用成本低，无需特殊进行维护，在日常使用中保持仪器清洁即可
技术规格参数：
型号：SAT 210Pro | |
※不锈钢腔体 | Φ110 mm×L255mm |
※射频频率 | 40KHz |
※射频功率 | 最高200W，0到200W可调，精度：1瓦， |
※辉光放电最低功率 | 最低辉光放电功率：10W |
辉光放电时间设定 | 1秒到99分59秒 |
气路设置 | 3气路（两路进气，一路放空） |
工作气体稳定时间 | 气体稳定时间:可调整，可设定，范围：0--180秒 |
※进气控制 | 2路质量流量计（MFC）控制 |
工作气体 | 空气氮气氩气氮氢混合气氩氦混合气等均可; 也可接入无腐蚀性、无毒的工作液体溶液，例如:六甲基二硅氧烷(HMDSO)接入工作液体需要选配接枝仪来配套使用。 |
进气压力 | 空气常压，连接钢瓶：0.1-0.2Mpa |
真空泵 | 可选机械油泵或者干泵 |
电 源 | ~220V／50Hz |
整机尺寸（宽*深*高） | 440X490X482mm |
重 量（约） | 27KG |
主要应用：
1.表面清洁2.表面活化3.键合4.去胶5.金属还原6.简单刻蚀7.去除表面有机物8.疏水实验9.沉积实验10.形成新的基团11.镀膜前处理等
处理机理分析：
1.物理作用机制
离子轰击效应；溅射去除污染物；表面微观粗化
2.化学作用机制
活性粒子化学反应；污染物氧化分解；表面基团修饰
3.物理化学协同作用
增强表面改性效果；提高处理效率；优化处理质量