SAT 510Pro 真空等离子清洗机是一款由赛奥特（SAT）生产的国产设备，主要用于对材料表面进行精细处理。SAT 510Pro通过射频能量（频率为40KHz）使真空腔体内的气体电离，产生等离子体。这些高活性等离子体与材料表面发生物理或化学反应，从而改变材料表面的成分、结构和性能，实现清洁、活化等目的。
主要特点：
1.实时检测和显示真空度,使得机器在智能控制下有了可靠的依据.
2.真空值可自由设定,(范围:10—60帕)为外加气体提供了可靠的辉光启动环境,为辉光纯度提供了有利的保障,保证了实验效果的准确性和可靠性.
3.真空腔体采用铰链侧开门结构,带有观察窗,材料为6061材质.
4.真空腔体、管路、阀体全部为不锈钢材料.
5.电容式（CCP）激发,实验效果稳定,均匀可靠,电极板置于样品仓内顶部悬挂.
6.触摸屏+内置计算机显示控制,手动自动两种模式任意切换.
7.程序化设计，预先编辑好程序，仪器自动完成实验.
8.利用气体电离后产生的等离子体的反应活性与材料表面发生的物理或者化学反应，使材料表面成分、组成和结构发生变化，并能得到某些特定的基团。
9.无需任何耗材，使用成本低，无需特殊进行维护，在日常使用中保持仪器清洁即可。
型号：SAT 510Pro | |
※不锈钢腔体 | Φ155 mm×L255mm |
※射频频率 | 40KHz |
※射频功率 | 最高300W，0到300W可调，精度：1瓦， |
※辉光放电最低功率 | 最低辉光放电功率：10W |
辉光放电时间设定 | 1秒到99分59秒 |
气路设置 | 三气路（两路进气，一路放空） |
工作气体稳定时间 | 气体稳定时间:可调整，可设定，范围：0--180秒 |
※进气控制 | 内置两路质量流量计（MFC）控制 |
工作气体 | 空气氮气氩气氮氢混合气氩氦混合气等均可; 也可接入无腐蚀性、无毒的工作液体溶液，例如:六甲基二硅氧烷(HMDSO)接入工作液体需要选配接枝仪来配套使用。 |
进气压力 | 空气常压，连接钢瓶：0.1-0.2Mpa |
真空泵 | 可选机械油泵或者干泵 |
电 源 | ~220V／50Hz |
整机尺寸（宽*深*高） | 440X490X482mm |
重 量（约） | 29KG |
SAT 510Pro真空等离子清洗机在多个行业的关键环节中发挥着重要作用。它通过等离子体对材料表面进行清洁、活化、刻蚀和引入特定官能团，能有效提升材料表面的粘附性、亲水性及生物相容性。
在电子制造和半导体封装领域，该设备用于芯片键合、引线键合前的表面清洁，能去除有机污染物和氧化物，显著提高粘接强度和产品可靠性。在生物医疗领域，它用于处理人工关节、心脏支架等植入体，通过清洁和表面活化改善其生物相容性。在高分子材料与复合材料领域，该设备能有效处理聚丙烯（PP）、聚四氟乙烯（PTFE）等难粘材料，改善其印刷、喷涂和粘接效果。此外，在精密光学和汽车工业（如车灯粘接、密封件处理）中，它也通过表面处理提升了产品的性能和耐久性。