SAT1620小型等离子去胶机(Plasma)
应用领域:通用于材料科学、光学、光电子学、生命科学、电子学、生物医学、高分子科学、半导体、微观流体学等领域.
主要应用:1.表面清洁2.表面活化3.键合4.去胶5.金属还原6.简单刻蚀7.去除表面有机物8.疏水实验9.沉积实验10.形成新的基团11.镀膜前处理等
主要特点:
1.实时检测显示真空度,使得机器在智能控制下有了可靠的依据.
2.真空值可自由设定,(范围:10—60帕)为外加气体提供了可靠的辉光启动环境,为辉光纯度提供了有利的保障,保证了实验效果的准确性和可靠性.
3.真空腔体采用铰链侧开门结构,带有观察窗,材料为6061材质.
4.真空腔体、管路、阀体全部为不锈钢材料.
5.电容式(CCP)激发,实验效果稳定,均匀可靠,电极板置于样品仓内顶部悬挂.
6.触摸屏+内置计算机显示控制,手动自动两种模式任意切换.
7.程序化设计,预先编辑好程序,仪器自动完成实验.
8.利用气体电离后产生的等离子体的反应活性与材料表面发生的物理或者化学反应,使材料表面成分、组成和结构发生变化,并能得到某些特定的基团。
9.无需任何耗材,使用成本低,无需特殊进行维护,在日常使用中保持仪器清洁即可。
技术规格参数
型号:SAT 1620 | |
※不锈钢方形腔体 | 内部尺寸:300(深度)X230(宽)X230(高)mm ,容积约16升 |
※射频频率 | 13.56MHz ,配置自动匹配器 |
※射频功率 | 最高300W,0到300W可调,精度:1瓦, |
※辉光放电最低功率 | 最低辉光放电功率:10W |
辉光放电时间设定 | 1秒到99分59秒 |
气路设置 | 三气路(两路进气,一路放空) |
※样品托盘数量 | 两层标准配置。 |
※放置样品托盘有效使用尺寸 | 220(宽)X270(长)mm,材质:6061铝氧化本色 |
※工作气体稳定时间 | 气体稳定时间:可调整,可设定,范围:0--180秒 |
※进气控制 | 内置两路质量流量计(MFC)控制 |
工作气体 | 空气氮气氩气氮氢混合气氩氦混合气等均可; |
进气压力 | 空气常压,连接钢瓶:0.1-0.2Mpa |
真空泵 | 可选机械油泵或者干泵 |
电 源 | ~220V/50Hz |
整机尺寸 | 615(深)ⅹ485(宽)ⅹ630(高)mm |
重 量(约) | 60KG |