SAT 3520 生产型射频等离子清洗机是一种利用射频激发气体电离产生低温等离子体,用于材料表面清洁、活化及改性的精密设备。其核心优势在于非接触式处理、高反应可控性和无化学污染,广泛应用于半导体、光学器件、生物医疗及高分子材料等领域。
主要实验应用: 1.表面清洁 2.表面活化 3.键合 4.去胶 5.金属还原 6.简单刻蚀 7.去除表面有机物 8.疏水实验 9.沉积实验 10.形成新的基团 11.镀膜前处理等
主要特点:
1.PLC工控机控制整个清洗过程,全自动进行。
2.采用7寸触摸屏操作界面,实时工作参数状态显示。
3.手动、自动两种工作模式。
4.数字流量计(MFC)控制标配双路气体输送系统,可选多气路气体输送系统。
5.处理高效均匀,效率高,工艺重复性好。
6.合理的结构设计,设备占用空间小。
7.可处理各种材质、形状、尺寸样品。
8.样品处理温度低,无热损伤和热氧化。
9使用成本低、耗损小,产品性能稳定,安装与维护简便方便,安全保护,舱门打开,自动关闭电源
SAT 3520 射频等离子清洗机技术规格参数:
型号:SAT 3520 | |
※不锈钢腔体尺寸 | W320xH320xD350mm |
真空腔体容积 | 约35升 |
载物托盘有效尺寸 | 载物托盘尺寸:W308xD323mm |
电极板分布 | 标配3层(可以选装1—3层) |
※射频频率 | 13.56MHz (可选40Khz,0—1000瓦电源) |
※射频功率 | 最高300W,0到300W可调,精度:1瓦, |
辉光放电时间设定 | 1秒到99分59秒 |
控制系统 | 7寸彩色触摸屏+PLC工控机 |
气路设置 | 内置两路(MFC)控制 |
工作气体稳定时间 | 气体稳定时间:一分钟 |
激发方式 | 电容式(CCP) |
工作气体 | 空气氮气氩气氮氢混合气氩氦混合气等均可 |
进气压力 | 空气常压,连接钢瓶:0.1-0.2Mpa |
真空泵 | 抽速16m3/h |
电 源 | AC220V 50-60Hz |
整机功率 | ≤1.2KW 【≤1.9KW】 |
整机尺寸(宽*深*高) | 约L625xW600xH750mm |
重量 | 约135Kg |