SAT8020生产型等离子清洗机(Plasma)
应用领域:适用于材料科学、光学、光电子学、生命科学、电子学、生物医学、高分子科学、半导体、微观流体学等领域.
主要实验应用:1.表面清洁2.表面活化3.键合4.去胶5.金属还原6.简单刻蚀7.去除表面有机物8.疏水实验9.沉积实验10.形成新的基团11.镀膜前处理等
主要特点:
1.PLC工控机控制整个清洗过程,全自动进行。
2.采用7寸触摸屏操作界面,实时工作参数状态显示。
3.手动、自动两种工作模式。
4.数字流量计(MFC)控制标配双路气体输送系统,可选多气路气体输送系统。
5.处理高效均匀,效率高,工艺重复性好。
6.合理的结构设计,设备占用空间小。
7.可处理各种材质、形状、尺寸样品。
8.样品处理温度低,无热损伤和热氧化。
9使用成本低、耗损小,产品性能稳定,安装与维护简便方便,安全保护,舱门打开,自动关闭电源
技术规格参数
型号:SAT 8020 | |
※不锈钢腔体尺寸 | W420xH400xD500mm |
真空腔体容积 | 约80升 |
载物托盘有效尺寸 | W400xD460mm |
电极板分布 | 六层,层高30mm |
※射频频率 | 13.56MHz |
※射频功率 | 最高600W,0到600W可调,精度:1瓦, |
辉光放电时间设定 | 1秒到99分59秒 |
控制系统 | 7寸彩色触摸屏+PLC工控机 |
气路设置 | 内置两路(MFC)控制 |
工作气体稳定时间 | 气体稳定时间:一分钟 |
激发方式 | 电容式(CCP) |
工作气体 | 空气氮气氩气氮氢混合气氩氦混合气等均可 |
进气压力 | 空气常压,连接钢瓶:0.1-0.2Mpa |
真空泵 | 抽速48m3/h |
电 源 | AC380V 50-60Hz |
整机功率(含泵) | ≤3.0KW |
整机尺寸(宽*深*高) | L905xW845XH1940mm |
重 量(约) | 465kg |