一、机组技术参数

1、机组输入电压：220V/380V

2、波纹管：KF40*1000mm

3、真空挡板阀：KF40

4、机箱尺寸：600*600*600mm

二、分子泵机组(方案一或方案二任选一个)技术参数

1、分子泵(方案一)

2、分子泵前级真空泵TRP-24(FJ620分子泵必须要配此前级泵)(方案二)

德国Pfeiffer真空泵(方案二)

VS高真空系统方案二，可以根据自身的实验要求选择其中的一个。

三、复合真空计