产品型号

SKCC-YCB-X（高真空磁控溅射永磁靶头）

产品规格

2寸，SKCC-YCB-2

3寸，SKCC-YCB-3

4寸，SKCC-YCB-4

5寸，SKCC-YCB-5

6寸，SKCC-YCB-6

7寸，SKCC-YCB-7

主要特点

1、采用高质量的不锈钢和永磁材料制作。

2、采用电磁场的有元计算法来设计永磁体，以得到较高的磁场强度和均匀分布。

3、独特的磁性材料冷却装置结构设计，避免冷却水腐蚀磁性材料，延长其使用寿命。

4、标准的HN型接头，可与DC和RF电源相匹配。

5、安装采用标准真空接头，便于操作。

6、靶材更换较为简单，无需调整溅射头的高度。

配套电源

1、直流DC；2、射频RF

备注

如需要折靶则：

2寸折靶，SKCC-YCB-2-Z

3寸折靶，SKCC-YCB-3-Z

4寸折靶，SKCC-YCB-4-Z