本公司所售靶头适用靶材种类较广，如金属/绝缘靶或磁性/非磁性靶材。配装有环形永磁体在靶头上，以保证溅射镀膜的效率和均匀性。可与DC或RF电源配合使用。

靶头种类
直、折靶	方靶	自转转靶
公、自转转靶	多弧溅射弧源