一、概述

1．气体从钢瓶出来，经过减压阀减压，通过四氟管到供气系统的入口，再经过质子流量计控制气体流量，然后经过混气罐，再进入炉子进气口，气体从出气管出来，经过三通阀门，一端连接真空泵，一端连接出气口。

2．混气罐上接有压力表，压力表显数盘与质子流量计安装在同一面板上。

3．每一条气体管路均有一个高压截止阀，安全有保证。

4．该气路采用高精度气体浮子流量计，气路内部全采用四氟管，耐腐蚀性好。

5．所有接头采用卡套连接，气密性好，耐压高。

二、技术参数：

气路通道：18

气路流量控制：质子流量控制器。

接口： Φ6

显示： LED

工作环境温度: 5～45℃

流量控制器：质子流量控制器（详细技术参数请查看后面）

四氟管：Φ6外XΦ4内

压力真空表 ：－0.1～0.15 MPa , 0.01 MPa/格

截 止 阀：Φ6

三、供气系统内部压力不能过大，不然容易造成漏气，只要气体能正常流出来即可。

四、供气系统的配置：

1、质子流量计：18个

2、压力表：6个

3、截止阀门：18个

4、穿板接头：18个

5、阀门接头：6个

6、钢瓶接头: 6个

7、聚四氟乙烯管：10M

8、混气罐：1个

9、炉架：1台

五，外形尺寸：650*650*1850

质量流量计技术参数：质子流量控制器普通型，模拟电路，橡胶密封，管状分流，不易堵塞。

主要指标:

量程：5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM（你可以任意选择量程）

• 准确度：±1.5% F.S
• 线性：±0.5～1.5% F.S
• 重复精度：±0.2% F.S
• 响应时间：10S
• 气压降：<0.01MPa
• 最大压力：3MP
• 工作环境温度：5～45℃
• 输入输出信号：0～+5.00V
• 电源：+15V 50mA -15V 50mA
• 外形尺寸：158*30*110