主要用途

薄膜制备设备、大科学工程与化学分析设备；半导体封装设备等无油抽气系统的配泵；分子泵的前级泵；

医疗仪器、生物制品与药品制备设备；食品、药品等包装设备； 特气回收、液晶注入设备。

设备特点

泵内无油，可获得清洁的真空环境；低噪音；无需水冷，耐腐蚀；操作简便，维护费用低廉。

设备优势

超高加工精度，提高使用寿命；特殊动密封材料，不产生颗粒，耐磨损