型号 | ALD-TL1200-PE -I | ALD-TL1200-PE -II | ALD-TL1200-PE -III | |||
ALD 控制面板 | 1 、5路控制温控系统，可以加热ALD里管路和ALD容器内液体 2、2路气体脉冲交替控制系统（交替时间、交替次数等、用单片机或PLC 控制能够达到ms） | |||||
ALD阀门
| 1、能够在不到 5 ms 内完成阀门开启或关闭 2、高速执行下的超高循环寿命、在产品评估是循环次数超过了25000000次 3、耐 热 执 行 器 、耐 温 高 达200℃（392℉） | |||||
ALD原理 | ALD化学气相沉积是将不同的反应前驱物以气体脉冲的形式交替送入反应室中并在沉积基体上化学吸附并反应而形成沉积膜的一种方法（技术） | |||||
源瓶
| 源瓶特点 1、所用管件采用316L不锈钢，内部经400目机械抛光和电化学抛光，Ra≤0.25μm。 2、阀门采用美国世伟洛克球阀或隔膜阀。 3、密封垫片采用纯银镀镍垫片。 4、氦质谱检测泄漏率≤1.0*10mba L/s。 5、可盛装化学品纯度≥99.9995%。 6、总残余元素量≤50PPb。 | |||||
ALD-PECVD简图
| 1、 2个石英容器与ALD管路连接 2、 2个ALD阀门、控制2路管道交替脉冲输入 3、多根加热管给ALD管道和石英容器加热、保证被汽化液体保持汽化状态进入反应区域。 4、多个球阀控制管路的通过。 5、多个旁通支路、可以通气其他气体或运载气体。 | |||||
功率 | 3.5KW | |||||
TL1200 管式炉 | 炉管尺寸 | Dia 60(OD) X1800mm | Dia 80(OD) X1800mm | Dia 100(OD) X1800mm | ||
外形尺（LXDXH） | 1300X410X610 | 1300X410X610 | 1300X410X660 | |||
电源电压 | 220V | |||||
相数 | 单相 | |||||
加热元件 | 国产优质电阻丝（可选配瑞典Kanthal A1进口电阻丝） 点击进入资料下 | |||||
控制方式 | 采用宇电程序控温仪表（标配） 1、30段程序控温智能PID调节。 2、具有过温保护 断偶保护过温或断偶时电炉加热电路自动切断,，（当电炉温度超过1200度或热电偶烧断时， 主电路上的交流继电器会自动断开，主电路断开，面板上ON灯熄灭，OFF灯亮，有限的保护电炉）。 3、带有485 通讯接口（选购软件时标配） 4、具有断电保护功能，即断电后再给电启动炉子时、程序不是从起始温度开始升、而是从断电时炉温开始升。 5、仪表具有温度自整定的功能
（更换进口仪表，需要另外付费，选购）
FP93控温仪表 欧陆仪表 触摸屏仪表 （日本岛电） | |||||
控温模式 | 智能PID | |||||
断偶保护和显示 | 有 | |||||
过温保护 | 有 | |||||
过流保护 | 有 | |||||
控制精度 | +/- 1 ℃ | |||||
触发器 | 移相触发 | |||||
电器 | 浙江正泰 | |||||
可控硅 | 106/16E 德国西门康 | |||||
最高温度 | 1200 ℃ | |||||
额定温度 | 1100 ℃ | |||||
升温速率 | ≤20 ℃/ Min （可根据要求修改） | |||||
推荐升温速率 | ≤10℃/ Min | |||||
热电偶型号 | K 型 | |||||
加热段长度 | 440mm | |||||
电器认证 |
| |||||
四周表面温度 | ≤45℃ | |||||
射频电源 （等离子体发生器）
| 功率输出范围 | 0-500W | ||||
最大反射功率 | 200W | |||||
工作频率 | 射频：13.56MHZ±0.005% | |||||
功率稳定度 | +/-0.1% | |||||
谐波分量 | ≤-50dbc | |||||
射频区域宽度 | 0-600mm 可调 | |||||
匹配方式 | 自动 | |||||
冷却方式 | 分冷 | |||||
噪声 | <50dB | |||||
射频接口 | 50Ω N-type | |||||
输入电源 | 208-240V 50/60HZ | |||||
GX供气系统主要参数
| 质量流量计
| 量程和气体 | 5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM （你可以任意选择以上量程和所通气体的类型） | |||
耐压 | 3MP | |||||
流量控制精度 | ±1.0%F.S | |||||
最大工作（使用）压力 | 0.3MPa | |||||
线性 | ±0.5%F.S. | |||||
重复精度 | ±0.2% F.S | |||||
路数 | 1 、2、3、4、5、6、7、8 路（可任意选择几路） | |||||
接头类型 | 双卡套不锈钢接头 | |||||
系统工作压力范围 | 0.1～0.5 MPa | |||||
工作温度 | 5-45℃ | |||||
压力真空表表 | -0.1～0.15MPa 0.01MPa/格 | |||||
静态混气室 | Dia50 X 400MM | |||||
接口 | Dia6 / 1/4” | |||||
VS-0.1抽气系统
方案一或方案二任选一个 | 电源 | 220V | ||||
尺寸 | 650X650X600 / 650X650X300 | |||||
波纹管 | KF25X1000mm | |||||
用该系统抽炉管真空度可达 | 10 -1Pa | |||||
真空挡板阀 | KF25 | |||||
VRD-8真空泵
方案一 | 型号 | VRD-8 | ||||
极限分压强 | 5X10-2 Pa | |||||
进排气接口 | KF25 | |||||
电机转速 | 1440RPM | |||||
抽气速率 | 2.2L/S | |||||
电机功率 | 0.4KW | |||||
Preiffer ACP15无油多级罗茨泵
方案二 | 型号 | ACP15 | ||||
电源 | AC100-240 50/60HZ | |||||
功率 | 450W | |||||
重量 | 25KG | |||||
最高氦气漏率 | 5 · 10-8 Pa m3/s | |||||
抽气速率 | 14 m3/h | |||||
极限压强 | 0.02Torr | |||||
进、排气接口 | KF25 | |||||
电阻真空计
（方案一） | 型号 | ZDR-1 | ||||
功率 | 25W | |||||
真空度测量范围 | 0.1-10 5 Pa | |||||
电阻硅 | ZJ-52T | |||||
瑞典（INFICON） 皮拉尼陶瓷电容真空计
（方案二） | 型号 | PCG554 | ||||
输入电压 | 24V 1A DC（配有220V变压器） | |||||
真空计接口 | KF16 | |||||
数字显示 | 数字显示（屏幕尺寸为20x14mm），其数据显示单位为torr | |||||
产品尺寸 | 46mm×28mm×126mm ( L x W x H) | |||||
重量 | 5 lbs | |||||
检测气体 | 可检测各种气体，包括混合气体，测量精确、重复性好。 | |||||
是否防腐 | 防腐 | |||||
响应时间 | ≤30ms | |||||
测量范围 | 3.8x10-5 -1125 Torr. | |||||
分子泵机组（选购）
（方案一或方案二任选一个） | 机组输入电压 | 380V /220V | ||||
波纹管 | KF40X1000 | |||||
真空挡板阀 | KF40 | |||||
机箱尺寸 | 600X600X600 | |||||
分子泵
（方案一） | 分子泵型号 | FJ620 | ||||
输入电压 | 380V | |||||
分子泵进气口法兰 | DN160 | |||||
分子泵抽气速率L/S（对空气） | 600 | |||||
分子泵极限压强（Pa) | 6×10-7 | |||||
冷却方式 | 水冷 | |||||
冷却水压（MPa） | 0.1-0.2 | |||||
冷却水温度 | <25℃ | |||||
环境温度 | 0～40℃ | |||||
建议启东压强 | <100pa | |||||
分子泵前级真空泵TRP-24 (FJ620分子泵必须要配此前级泵)
（方案二） | 功率 | 0.75KW | ||||
电压 | 380V | |||||
转速 | 1450rpm | |||||
进气口径 | KF25/KF40 | |||||
前机泵抽气速率（L/S） | 6 | |||||
极限压强 | 4X10 -2Pa | |||||
德国Pfeiffer真空泵
（方案二） | 电压 | 220V | ||||
功率 | 110W | |||||
抽气接口 | KF40 | |||||
重量 | 150KG | |||||
前机泵抽速 | 0.9m 3/ h | |||||
抽气速率（N2） | 33L/S | |||||
复合真空计 | 复合真空计型号 | ZDF | ||||
电源 | 220V 55W | |||||
控制精度 | ± 1% | |||||
真空计测量范围 | 10-5 -10 5 Pa | |||||
详细描述
ALD-TL1200-1200-S-C 原子层气相沉积系统由滑动管式炉、石英真空室、GX供气系统、抽气系统、真空测量系统和ALD系统组成。
这款ALD-TL1200-1200-S-C 原子层气相沉积系统以Kanthal A1 电阻丝为加热元件，采用双层壳体结构和30段程序控温仪表，过零触发、可控硅控制，炉膛采用氧化铝多晶纤维材料，炉管两端能不锈钢法兰密封，不锈钢法兰上安装有气嘴、阀门和压力表，抽真空时真空度能够达到10-3 Pa，具有温场均衡、表面温度低、升降温度速率快、节能、价格优惠等优点。
开盖保护系统：该炉安装有行程开关，当炉盖打开时会自动切断电源，有效地保证使用者的安全。
1、 电阻丝
原丝 电阻丝炉膛
(1)、表面温度高可达1420℃
(2)、表面为不锈钢色（非常亮、客户识别时要注意）、不会生锈，使用时间再长都不会掉渣。
(3)、电阻均衡、温场均衡性好
电阻丝 电阻均匀 、 发热量均衡
温场效果好
2、安装有空气开关和漏电保护器：
当电路过流或漏电时，空开会自动断开。
3、可以与电脑连接
该炉配有通讯接口和软件，可以直接通过电脑控制炉子的各个参数，并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况，炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出，并能把每个时刻的温度数据保存起来，随时可以调出
4、炉膛
1、真空吸滤成型的优质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛。
2、采用日本技术成型。
3、炉膛里电阻丝的间距和节距全部按日本***热工技术布置、经过热工软件模拟温场
4、采用4周加热，温场更加均衡
5、可选UL认证电气板 （全部通过UL认证的进口电器）
6、认证
7、法兰
铰链式法兰（选购） 可以接电阻真空计和KF25波纹管的法兰（选购） 水冷法兰（选购）
标准配置
描叙 | 数量 | 图片 |
TL1200滑动管式炉 | 1 台 | |
石英管 | 1根 |
|
不锈钢法兰 | 1 套 |
|
不锈钢炉钩 | 1 个 |
|
石英炉塞 | 1对 |
|
高温手套 | 1 双 |
|
| Ｋ型热电偶 | 1个 |  |
COM转USB接口 | 1 套 |
|
说明书 | 1本 |
|
法兰支撑架 | 1 份 |
|
供气系统 | 1台 |  |
| VS-0.1抽气系统 | 1台 |  |
| 射频电源 | 1台 |  |
| 卡套 | 4个 |  |
| 波纹管 | 1支 |  |
| 真空挡板阀 | 1个 |  |
| 钢瓶接头（N代表路数） | N个 |  |
| 阀门接头 | 2 |  |
