TL1400-C单温区CVD系统详细技术参数
TL1400管式炉 | 型号 | TL1400-C-I | TL1400-C-II | TL1400-C-III |
功率 | 4KW | 4KW | 6KW | |
炉管尺寸OD（mm） | 高纯刚玉管:60/80/100*1000mm(管径可选） 两边各放置两个炉塞，炉塞可以阻挡炉管中心的热辐射，必须在加热前放置在炉膛的正确位置
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外形尺寸（LXDXH） | 6100X490X800 | 610X490X800 | 610X550X850 | |
电源电压 | 220V / 380V | |||
相数 | 单相 | |||
加热元件 | 硅碳棒 | |||
真空炉管内真空度 | 8X10 -4 | |||
控制方式 | 采用宇电程序控温仪表（标配） 1、30段程序控温智能PID调节。 2、具有过温保护 断偶保护过温或断偶时电炉加热电路自动切断,，（当电炉温度超过1420度或热电偶烧断时，主电路上的交流继电器会自动断开，主电路断开，面板上ON灯熄灭，OFF灯亮，有限的保护电炉）。 3、带有485 通讯接口（选购软件时标配） 4、具有断电保护功能，即断电后再给电启动炉子时、程序不是从起始温度开始升、而是从断电时炉温开始升。 5、仪表具有温度自整定的功能
（更换进口仪表，需要另外付费，选购）
FP93控温仪表 欧陆仪表 触摸屏仪表 （日本岛电） | |||
控温模式 | 智能PID | |||
断偶保护和显示 | 有 | |||
过温保护 | 有 | |||
过流保护 | 有 | |||
炉膛材料 | 1800型氧化铝多晶体纤维（日本进口） | |||
控制精度 | +/- 1℃ | |||
触发器 | 移相触发 | |||
电器 | 浙江正泰 | |||
可控硅 | 106 / 16E德国西门康 | |||
最高温度 | 1400℃ | |||
额定温度 | 1350℃ | |||
升温速率 | ≤20℃/分钟（可根据要求修改） | |||
推荐升温速率 | ≤10℃/分 | |||
热电偶型号 | S型 | |||
加热段长度 | 300mm | |||
温度校准（选配） | 定期对管式炉进行温度校准，可保持炉温的准确性和均匀性。您可以在本公司选购一套简单的校准工具，辅助您完成这项工作，完整的校准套件包括标准热电偶，温度校准仪，补偿导线
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真空法兰 |
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电器认证 |
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四周表面温度 | ≤45℃ | |||
德国Pfeiffer真空泵（方案二） | 电压 | 220V | ||
功率 | 110W | |||
抽气接口 | KF40 | |||
重量 | 150KG | |||
前机泵抽速 | 0.9m 3/ h | |||
抽气速率（N2） | 33L/S | |||
质保期
一年保修，终身技术支持
特别提示：1.耗材部分如加热元件，炉管，样品坩埚等不在保修期内。
2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。
注意事项
1.炉管内气压不可高于0.02MPa
2.由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，为了确保安全，建议使用压力低于0.02MPa
3.当使用的炉管为刚玉管时，炉体温度高于1500℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当
4.进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的气流对热炉管的冲击
5.对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开排气阀，以防意外发生（如炉 管破裂，法兰飞出等）
6.不要在氧化铝管中使用石墨坩埚
详细描述
TL1400产品描述
管式炉以硅碳棒为加热元件，采用双层壳体结构和宇电控温仪表，能进行30段程序控温，移相触发、可控硅控制，炉膛采用氧化铝多晶纤维材料，炉管两端能不锈钢法兰密封，不锈钢法兰上安装有气嘴、阀门和压力表，抽真空时真空度能够达到10 -3 Pa,该炉具有温场均衡、表面温度低、升降温度速率快、节能等优点，是高校、科研院所、工矿企业做高温气氛烧结、气氛还原、CVD实验、真空退火用的理想产品。
1、加热元件
（1）、硅碳棒的热端粗度d为14mm、一般厂家采用的12MM、加热端粗、不容易弯曲、棒子的表面负荷低，使用寿命长。
（2）、m冷端长度为210mm， 一般厂家采用180mm, 冷端长炉顶温度低。
（3）、硅碳棒表面氧化非晶膜致密，能够比较好的保护碳棒。
2、安装有空气开关和漏电保护器：
当电路过流或漏电时，空开会自动断开。
3、可以与电脑连接（选购）
该炉配可有通讯接口和软件，可以直接通过电脑控制炉子的各个参数，并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况，炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出，并能把每个时刻的温度数据保存起来，随时可以调出
4、炉膛
进口炉膛 VS 国产炉膛
1、真空吸滤成型的优质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛。
2、采用日本技术成型。
3、炉膛材料热容低、热传导系数低，从而散热少、保温好、反射率高。温场均衡。
4、炉膛氧化铝丝细而长、耐温高、抗热涨冷缩能力强。
5、炉膛表面光洁、不易掉粉。
5、可选UL认证电气板 （全部通过UL认证的进口电器）
6、多款可供选择的各种法兰 （直径从25到250mm）
铰链式法兰（选购） 可以接电阻真空计和KF25波纹管的法兰（选购） 水冷法兰（选购）
7、认证
标准配置
管式炉标准配件
描叙 | 数量 | 图片 |
TL1400管式炉 | 1套 | |
刚玉管 | 1根 |
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不锈钢法兰 | 1套 |
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不锈钢炉钩 | 1个 |
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氧化铝炉塞 | 2对 |
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高温手套 | 1双 |
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氧化铝坩埚 | 1个 |
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| ķ型热电偶 | 1个 |  |
485转换接口和软件 （选配） | 1套 |
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说明书 | 1本 |
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法兰支撑架 | 1份 | |
| 高真空抽气系统 | 1台 |  |
| 卡套 | 4个 |  |
| 波纹管 | 1支 |  |
| 真空挡板阀 | 1个 |  |
