主要功能
4个测量参数:Ra,Rq,Rz,Rt;
采用红宝石精度高电感传感器,不易磨损;
兼容参数符合ISO和GB标准;
可存储10组测量结果;
采用DSP芯片进行控制和数据处理;
内置锂离子充电电池及充电保护电路;
机电一体化设计,体积更小;
具有自动关机及操作提示信息;
可选配测量平台附件。
技术参数:
| 项目 | 描述 | |
| 测量范围 | Z轴(垂直) | 160μm |
| X轴(水平) | 17.5mm | |
| 分辨率 | Z轴(垂直) | 0.01μm/±20μm |
| 0.02μm/±40μm | ||
| 0.04μm/±80μm | ||
| 测量项目 | 参数 | Ra,Rq,Rz,Rt |
| 标准 | ISO、GB | |
| 滤波器 | RC,PC-RC,Gauss,D-P | |
| 取样长度(lr) | 0.25,0.8,2.5(mm) | |
| 评定长度(ln) | ln=lr×n n=5 | |
| 传感器 | 测量原理 | 位移式差动电感 |
| 触针 | 天然金刚石,90锥角,5μm针尖半径 | |
| 测力 | < 4mN | |
| 导头 | 红宝石,滑行方向半径40mm | |
| 滑行速度 | lr=0.25,Vt=0.135mm/s | |
| lr=0.8,Vt=0.5mm/s | ||
| lr=2.5,Vt=1mm/s | ||
| 返回 Vt=1mm/s | ||
| 示值误差 | 不大于±10% | |
| 示值变动性 | 不大于6% | |
| 电源 | 内置锂离子充电电池,用8.4V,1000mA充电器充电 | |
| 外形尺寸 | 119×47×65mm | |
| 重量 | 约380g | |