测试原理

真空容量法

分析气体

N2

N2, Ar, CO2,等其他非腐蚀性气体

分析站个数

2

4

2

4

独立的P0站

Yes

相对压力 (P/P0 )

10-4 to 0.5

10-4 to 0.999

压力传感器精度

0.1 % （全量程)*

压力分辨率

**压力: 1.2 x 10-4 Torr

相对压力: 1.5 x 10-7 p/p0

孔径分布范围 N/A

0.35 - 500 nm (直径)

(0.35 - 1.1 nm （ CO2)

分析杜瓦瓶

体积: 1 L

体积: 2 L

脱气站

脱气站个数: 4

温度控制l: 2 加热包, 室温到425 °C

脱气方式: 流动法 & 真空法, 软件控制全自动程序升温