序号

项目

指标

单位

1

晶圆规格

4" 、 5" 、 6" 、 8" 、 12"

inch

晶圆厚度

300- 750

μm

晶圆材料

硅，砷化镓或其他

晶圆工艺

单平边，双平边，V型缺口

胶膜材料

蓝膜或UV膜

胶膜规格

长：100

宽：120-240

厚：0.05-0.2

m

mm

mm

贴膜

防静电滚轮， 自动拉膜。

晶圆台盘结构

通用(一体式)特氟龙防静电涂层接触式或硅胶台盘或陶瓷台盘

晶圆装载方式

手动放置与取出

台盘防静电控制

防静电特氟龙涂层

防静电贴膜滚轮

除静电离子发生器

切割环节设计

手动可调整环形切刀

刀头带独立加热机构无任何飞边

独特的手动直切刀设计

晶圆定位

通用标线/弹簧销钉

安全防护

配置紧急停机按钮

电源

AC 电压 220

AC 电流10

V

A