赛德凯斯SC-UV-II大型紫外臭氧清洗机是一款用于高精度清洗各种单晶基片和材料的干法精细清洗设备。它结合了紫外光和臭氧技术，能够去除有机化合物，改善表面润湿性，提高成膜质量，还可用于清洗SEM和TEM样品，以及紫外活化聚合物。该机具备加热控温功能，采用不锈钢材料，具有抽屉式样品台，灵活的气路预留接口，UV灯工作与抽屉操作互锁，定时器工作范围广泛，操作方便，控温范围广泛，为高效精确的原子级别清洗提供了可靠的解决方案。
SC-UV系列紫外臭氧清洗机：是一种干法精细清洗设备，可用于清洗各种单晶基片，以保证更好的成膜质量。同时也可去除光刻胶、改善材料表面润湿性、清洗SEM和TEM样品及紫外活化聚合物等。
紫外臭氧清洗提供了一种无酸、干燥对材料无损伤的原子级别的清洗手段，特别适合清除一些有机化合物。紫外灯主要发出两种波长的光：185nm和254nm，其中185nm的光可把空气中的氧气变为臭氧，254nm可以破坏化合物中的键（特别是碳碳键）；所以这两种波长的光组合可有效地清除有机化合物。
SC-UV-II大型紫外臭氧清洗机集成加热控温功能。
技术参数
型号 | SC-UV-II |
材质 | 内部采用不锈钢材料，耐酸碱、防腐蚀 |
结构 | 抽屉式样品台，取、放基板简单、方便 |
气路 | 预留进气接口，丰富设备的清洗种类 |
保护 | 抽屉开合与UV灯工作互锁，避免紫外线伤害 |
计时 | 按键定时器，数显倒计时，放便直观 |
操作 | 清洗工作进程可以任意时间手动终止 |
配件 | 可选臭氧中和器，避免臭氧伤害 |
清洗波段 | 185nm和254nm |
距离UV灯3-5mm平均光强 | 28～32mW/cm² |
灯管 | 双波低压汞灯X2 |
灯管功率 | 300W |
照射区域 | 300mm×300mm（基台尺寸305×315mm） |
可调照射距离 | 5～60mm |
定时器工作范围 | 0～99min99s 具有自动倒计时功能 |
进、出气口 | 进气口：φ8mm，出气口：φ25mm |
设备外型尺寸 | 430mm× 380mm×320mm |
含臭氧中和器的尺寸 | 580mm×380mm×420mm |
产品重量 | 26KG |
控温范围 | 室温-450℃ |