赛德凯斯SC-UV-I+紫外臭氧清洗机是一款高性能的干法精细清洗设备，可广泛应用于单晶基片的清洗，确保更好的成膜质量。它还可以去除光刻胶，改善材料表面润湿性，清洗SEM和TEM样品，以及紫外活化聚合物等。该机型具有强大的加热功能，可加热至200℃，采用不锈钢材料制成，具有抽屉式样品台，气路预留接口，UV灯工作与抽屉操作互锁，定时器工作范围广泛，操作方便，控温范围宽广，为高效原子级别清洗提供了可靠的解决方案。
SC-UV系列紫外臭氧清洗机：是一种干法精细清洗设备，可用于清洗各种单晶基片，以保证更好的成膜质量。同时也可去除光刻胶、改善材料表面润湿性、清洗SEM和TEM样品及紫外活化聚合物等。
紫外臭氧清洗提供了一种无酸、干燥对材料无损伤的原子级别的清洗手段，特别适合清除一些有机化合物。紫外灯主要发出两种波长的光：185nm和254nm，其中185nm的光可把空气中的氧气变为臭氧，254nm可以破坏化合物中的键（特别是碳碳键）；所以这两种波长的光组合可有效地清除有机化合物。
技术参数
型号 | SC-UV-I+ |
材质 | 机身整体采用不锈钢材料，耐酸碱、防腐蚀 |
结构 | 抽屉式样品台，取、放基板简单、方便 |
气路 | 预留进气接口，丰富设备的清洗种类 |
保护 | 抽屉开合与UV灯工作互锁，避免紫外线伤害 |
计时 | 按键定时器，数显倒计时，放便直观 |
操作 | 清洗工作进程可以任意时间手动终止 |
配件 | 可选臭氧中和器，避免臭氧伤害 |
清洗波段 | 185nm和254nm |
距离UV灯3-5mm平均光强 | 28～32mW/cm² |
灯管 | 双波低压汞灯 |
灯管功率 | 150W |
照射区域 | 150mm×200mm |
可调照射距离 | 5～40mm |
定时器工作范围 | 0～99min99s 具有自动倒计时功能 |
进、出气口 | 进气口：φ8mm，出气口：φ25mm |
设备外型尺寸 | 250mm（W）×300mm（D）×260mm（H） |
托盘外型尺寸 | 160mm（W）×200mm（D）×5～30mm（H） |
产品重量 | 8 KG |
控温范围 | 室温–200℃ |