CY-SPC4-SS-JH净化旋涂仪带加热台,双工位
型号：CY-SPC4-SS-JH
成越 CY-SPC4-SS-JH 净化旋涂仪专为半导体硅片涂覆设计，具有两个独立工位的匀胶台，可单独或同时工作。设备具备高达9999rpm的旋转速度和加热功能，确保胶体涂层的均匀性和工艺控制。采用亚克力腔体，提供了优良的清洁性和透明度，配备液晶屏和手动点胶选项，支持多种匀胶曲线的存储和调整，非常适合集成电路和半导体器件的生产应用。
净化型匀胶机广泛用于半导体硅片的匀胶镀膜等，例如对大型晶圆、芯片、晶片等进行工艺制版时，可用此设备进行各种胶体的表面涂覆或光刻工艺匀胶； 是集成电路及半导体器件生产过程中涂覆匀胶的专用设备 。该设备中涂胶部分含有两个工位的匀胶台，可分别独立工作，也可两台同时工作。
技术参数
| 匀胶机 | 电源电压 | AC220V, 50Hz |
| 旋转速度 | 0～9999rpm, adjustable | |
| 加速度 | 100～5000rpm/s | |
| 速度分辨率 | 1rpm | |
| 时间分辨率 | 1s | |
| 单步时间 | 3000s | |
| 基片尺寸 | 直径≤4英寸（100mm） | |
| 腔体材质 | 亚克力 | |
| 操作方式 | 按键+液晶屏 | |
| 点胶方式 | 手动点胶，可选精密注射泵 | |
| 匀胶曲线 | 每条曲线5段，共可存储5条曲线 | |
| 抽气口 | φ6mm快拧接口 | |
| 真空吸盘 | 直径10mm, 25mm, 55mm | |
| 整体尺寸 | 210mm×250mm×180mm | |
| 加热板 | 加热板尺寸 | 150*150mm |
| 加热温度 | RT～300C | |
| 温度分辨率 | 0.1C | |
| 控温精度 | ±1C | |
| 温度均匀性 | <±2C | |
| 电源 | AC220V, 50Hz | |
| 净化柜 | 尺寸 | 800*680*1700mm |
| 内部布局 | 内部左侧放4英寸亚克力腔体匀胶机，右侧放加热板 | |
| 净化等级 | 美国标准100% | |
| 照明 | 内置LED照明灯 | |
| 排气系统 | 真空泵 | 干式机械泵 |
| 抽气速率 | 50L/min | |
| 电源 | AC220V, 60Hz |
产品发布日期：2026.03.15
郑州成越科学仪器有限公司