阶差规516型
型号：516-198/516-199/516-498/516-499
516系列 阶差规
从量块No.1到No.5，每个阶差的高度逐渐降低。
使用干涉仪测量相邻阶差(在检查成绩书中以0.01μm为单位列出)。相邻阶差值精度为±0.20μm。
可选用钢制型或陶瓷型。
高度差由相邻阶差的中心测得。
技术参数
钢制型
货号 | 516-198 | 516-199 | ||||||||||||||||||
量块号 | 1 | 2 | 3 | 4 | 5 | 1 | 2 | 3 | 4 | 5 | ||||||||||
累积阶差 (µm) | 0 | 10 | 15 | 17 | 18 | 0 | 300 | 400 | 450 | 470 | ||||||||||
相邻量块阶差值 (µm) | 10 | 5 | 2 | 1 | 300 | 100 | 50 | 20 | ||||||||||||
陶瓷型
货号 | 516-498 | 516-499 | ||||||||||||||||||
量块号 | 1 | 2 | 3 | 4 | 5 | 1 | 2 | 3 | 4 | 5 | ||||||||||
累积阶差 (µm) | 0 | 10 | 15 | 17 | 18 | 0 | 300 | 400 | 450 | 470 | ||||||||||
相邻量块阶差值 (µm) | 10 | 5 | 2 | 1 | 300 | 100 | 50 | 20 | ||||||||||||
外形尺寸
产品发布日期：2026.01.28
日本三丰Mitutoyo公司