一、基本信息

超声扫描显微镜(SAM)是一种利用超声波为传播媒介的无损检测成像设备，主要利用高频超声波，对各类半导体器件、材料进行检测，能够检测出样品内部的气孔、裂纹、夹杂和分层等缺陷，并以图形的方式直观展示。在扫描过程中，不会对样品造成损伤，不会影响样品性能，可满足IGBT产品的质控需求。

1.1 产品名称

超声扫描显微镜

1.2 数量

1台

1.3 规格型号

规格型号	机器示意图
T722

注：上图仅供参考，实际产品可能会有所差别

二、设备主要配置：

三、常用备品备件

四、IGBT模块多层结构检测能力

五、软件功能

六、厂务安装条件

5.1 设备尺寸

设备整机尺寸1400mm(长)×1300mm(宽)×2000mm(高)。安装方案基于空间占用最小化和维护/服务条件**化的需要，保证在设备周围留有1000mm的空间，可以方便工作人员进行操作、维护。

5.2 电脑桌

设备配有电脑桌，用于安放鼠标、键盘及显示器。

5.3 电力供应

工作电源：220V±10%/50Hz，2KW

5.4 水源

设备需要自来水、去离子水或者纯净水，并且需要定期更换。水温要求：15～30℃

5.5 环境温度要求：20～35℃

5.6 环境相对湿度：35℃≤50%RH

5.7 周边环境：

不要放在强磁场、电磁波和产生高频设备的旁边。

减少振动，10Hz以下振动的******振幅 0.7μm PP以下。

灰尘少、湿气少，没有腐蚀性气体的地方。

电源的变化，限制到最小。

为了防止地震的损坏，四周一定要固定。

七、交付内容和交付周期

1、交付内容：

(1)设备主体：1台；

(2)附属设备：电脑2台，电脑桌1张；

(3)配套软件：配套操作软件1份；

(4)出厂合格证：1份；

(5)设备操作使用手册：1份；

(6)设备维护保养手册：1份；

(7)易损件、备件、维护工具清单：1份；

2、交付周期：预付款后，2个月内交付。

八、技术培训

1、培训对象：

培训对象为设备操作使用人员、维护技术人员及设备管理技术人员；

2、培训目标：

操作人员经培训后，能正确操作使用设备，排除简单常见的故障；

维护技术人员及设备管理技术人员经培训后，能掌握设备的机电原理，能排除故障，指导操作人员进行日常维护工作。

3、培训方法：

采用现场培训方式，由设备供应商负责，使培训人员能够独立进行设备开机运行、测试、维护及管理。

4、培训内容：

1)设备维护及安装工作所必须的全部技术文件的讲解；

2)设备的安装与测试；

3)设备操作使用方法；

4)主要硬件功能模块、结构及工作原理；

5)软件的用途、原理及维护方法；

九、标准材料声速表