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516系列 阶差规从量块No.1到No.5，每个阶差的高度逐渐降低。使用干涉仪测量相邻阶差(在检查成绩书中以0.01μm为单位列出)。相邻阶差值精度为±0.20μm。可选用钢制型或陶瓷型。高度差由相邻阶差的中心测得。技术参数钢制型货号516-198516-199量块号1234512345累积阶差 (µm)0101517180300400450470相邻量块阶

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