型号：XUV® 773
XUV® 系列设备的真空测量室能够通过 X 射线荧光分析 (RFA) 检测原子序数从Na(11)开始的轻元素。由于空气会吸收轻元素的荧光X射线，因此在大气环境中通常无法使用该方法。因此，该仪器非常适合对要求严苛的镀层厚度进行测量和材料分析。
探测器 (SDD) 以及微聚焦射线管；以及各种不同组合的准直器和滤波器，是完成严苛测量任务的理想之选。例如，借助 XDV 设备，您可以测量仅 5 nm 厚的镀层厚度及分析其元素成分，还可以对仅 10 µm 结构的工件进行测试。特性借助高性能
型号：Fischer- 型号：Fischer 040412AEF