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引言:等离子表面处理技术被运用在IC器件领域,它能改善并且去除基板上污渍。为了成功的使用这项技术,必须完成物理和化学等离子的反应。这需要在等离子领域里离子和电子的组合。①2.45Ghz微波频率2.45 GHz,在离子室的外壳上伴随着射频,结 |